SENresearch 4.0

(Polski) Jakie cechy i parametry można zbadać/zmierzyć elipsometrem z serii SENresearch 4.0?

(Polski)

Elipsometr spektroskopowy z serii SENresearch 4.0 jest idealnym narzędziem do:

badania grubości
wyznaczania parametrów optycznych materiałów objętościowych, pojedynczych warstw izotropowych i anizotropowych oraz układów złożonych wielowarstwowych
wyznaczania chropowatości powierzchni oraz interfaz
badań materiałów z gradientem właściwości, powłok porowatych, ultra cienkich warstw, w tym warstw subnanometrycznych
badań efektu depolaryzacji
wyznaczenia 15 elementów macierzy Muellera.

Możliwe jest wykonanie łączonych pomiarów fotometrycznych (tj. elipsometrycznych, odbiciowych, transmisyjnych).

(Polski) Jakie rozmiary i kształt powinna mieć próbka?

(Polski)

Badaniu elipsometrycznemu poddawane są próbki płaskorównoległe o niskim stopniu rozwinięcia powierzchni. Maksymalne wymiary próbek zależą od wymiarów stolika. Dostępne są stoliki o średnicy 6”, opcjonalnie 8” oraz 300 mm. Wysokość max. 8 mm. Producent dopuszcza możliwość dostarczenia stolika do badania próbek niestandardowych.

(Polski) Jak długo trwa przeciętny pomiar i czy może być zautomatyzowany ?

(Polski)

Czas pomiaru dla zakresu DUV-VIS jest na ogół krótszy niż 5 sekund, dla zakresu NIR wynosi ok. 10 sekund. Zakup opcji goniometru sterowanego komputerowo oraz stolika do mapowania próbek z automatycznym ustawieniem wysokości i pochyłu platformy, pozwala na pełne zautomatyzowanie pomiarów.

(Polski) W jakiej postaci otrzymuje się wyniki i czy ich interpretacja jest trudna?

(Polski)

Uzyskanie finalnego wyniku wymaga od użytkownika wykonania następujących kroków: pomiaru, modelowania (wybór modelu z istniejącej bazy dla otrzymanych wyników eksperymentalnych), analizy wyników (możliwie dokładne dopasowanie parametrów krzywej eksperymentalnej do parametrów krzywej modelowej) i przygotowania raportu (na zasadzie „drag&drop)”. Na początkowym, poznawczym etapie pracy z elipsometrem, użytkownik może liczyć na wsparcie producenta.

(Polski) Jaki jest przybliżony koszt zakupu urządzenia i rozpiętość cenowa zależnie od opcji?

(Polski)

Cena modelu SER 800 (240 – 1000 nm) to koszt rzędu 340 tyś. PLN netto w wersji podstawowej. Cena urządzenia w wersji podstawowej obejmuje układ autokolimujący, 5° manualny goniometr (zakres kątowy 40-90°), manualny 150 mm stolik próbek, kompensator, polaryzator, oprogramowanie SpectraRay/4, Windows 7, lampę halogenowo-deuterową. Dla modelu najwyższego z serii SENresearch 4.0, tj. SER 850 DUV (190 – 2500 nm, opcjonalnie do 3500 nm), koszt zakupu sprzętu wynosi ponad 650 tyś. PLN netto dla wersji podstawowej.