FAQ

• (Polski) Jakiego typu materiały można osadzać przy wykorzystaniu urządzenia ALD?

  (Polski)

  Konfiguracja może zawierać:

  • • • do 6 linii prekursorowych (np. Al, Si, Ti, Hf, Zn, woda)
      • do 7 linii gazowych dla PEALD (np. N2, O2, NH3, H2)

  System w tej postaci umożliwia osadzanie:

  • • • • tlenków (Al2O3, TiO2, ZnO, HfO2, SiO2…)
        • azotków (AlN, TiN, SiN…)
        • metali tj. Pt, Ag, Cu
        • osadzanie struktur wielowarstwowych
        • osadzanie warstw jednorodnych/ciągłych i konformalnych na podłożach (od fragmentów do podłoży 8”) różnego typu i o różnych kształtach, w tym elementach 3D

• (Polski) Jakie modele są dostępne?

  (Polski)

  Dostępne są modele:

  • • • SI ALD (próbka ładowana bezpośrednio do komory reakcyjnej)
      • SI ALD LL (ze komorą załadowczą)
      • SIPAR (jednokomorowy reaktor do ALD i PECVD z plazmą ICP)

  Reaktor umożliwia aktywację prekursorów w sposób konwencjonalny (tj. termiczny) oraz ze wspomaganiem plazmą (PEALD). Reaktory można doposażyć w źródło plazmy typu CCP umożliwiające prowadzenie procesu ALD w niskich temperaturach podłoża, komorę rękawicową oraz optyczny układ kontroli in-situ procesu. Ponadto, reaktory ALD można zestawić w postaci klastra z reaktorami RIE, i PECVD.

• (Polski) Jakie rozmiary i kształt powinna mieć próbka?

  (Polski)

  Istnieje możliwość osadzania na podłożach o rozmiarach 4, 6, 8 cali oraz, przy wykorzystaniu specjalnych uchwytów, na podłożach mniejszych tj. 1 lub 2 cali i próbkach małych, o nieregularnych kształtach.

• (Polski) Jakie są gabaryty urządzenia wraz z niezbędnymi elementami pomocniczymi?

  (Polski)

  Wymiary przybliżone (W x D x H) w cm: Komora procesowa 68,0 x 128,0 (bez load lock) x 184,0 Skrzynka zasilania 50,0 x 30,0 x 50,0 Pompy próżniowe 39,0 x 83,0 x 87,5 (komora procesowa); 19,0 x 52,0 x 27,0 (load lock) PC 35,0 x 40,0 x 10,0 Monitor 23” 55,0 x 20,0 x 50,0

• (Polski) Czy pomieszczenie, w którym będzie zainstalowane urządzenie, musi spełniać szczególne wymagania?

  (Polski)

  Dla wygody pracy z urządzeniem min. wymiary pomieszczenia to 3 x 4 m. Dodatkowo powinno zostać przewidziane miejsce na pomieszczenie techniczne na pompy próżniowe, skrzynki gazowe itd..  Niezbędne będą instalacje gazowe (gazy procesowe i techniczne) oraz instalacja wodna. W pomieszczeniu muszą znaleźć się wyciągi w suficie/ścianie, do odprowadzenia gazów procesowych.