NMM-1 to platforma do pozycjonowania i wymiarowania obiektów w trzech osiach w zakresie 25x25x5 mm z dużą dokładnością na poziomie 0,1 nm. Urządzenie wykorzystuje trzy miniaturowe interferometry laserowe z płaskim zwierciadłem służące do pomiaru położenia wzdłuż każdej osi. Interferometry monitorują położenie ruchomego stolika zwierciadlanego, na którym leży pozycjonowany/mierzony obiekt. Dodatkowe dwa czujniki pozwalają na pomiar i korekcję odchyleń kątowych stolika. Światło z trzech stabilizowanych laserów jest prowadzone do interferometrów światłowodami, co zapewnia kompaktową i stabilną termicznie konstrukcję urządzenia. Sercem elektronicznego układu pomiarowego jest cyfrowy procesor sygnałowy (DSP) przetwarzający sygnały wejściowe, sterujący napędami i kontrolujący procedury pomiarowe. Na platformie NMM-1 można dodatkowo zainstalować sondy pomiarowe realizujące różne techniki, m.in. LFS (Laser Focus Sensor), AFM (Atomic Force Microscope), WLI (White Light Interferometry), 3D Micro Probe. Dzięki temu zakres zastosowań urządzenia jest bardzo duży i obejmuje precyzyjne pozycjonowanie i wymiarowanie elementów mikromechanicznych, mikroelektronicznych, optycznych oraz obiektów biologicznych, sond pomiarowych, membran i mikrosoczewek oraz kalibrację wzorców wysokości.

Wszystkich zainteresowanym zapraszamy do kontaktu poprzez formularz kontaktowy.