PHI 710 firmy Physical Electronics to wysokorozdzielczy skaningowy spektrometr elektronów Augera (AES) do analizy składu pierwiastkowego i chemicznego powierzchni materiałów litych oraz cienkich warstw i interfaz. W technice AES elektrony wiązki pierwotnej bombardują próbkę i powodują emisję elektronów Augera, które są separowane po energii w cylindrycznym analizatorze zwierciadlanym (CMA) i padają na powielacz elektronów. Analiza widma pozwala uzyskać informacje chemiczne z obszarów o grubości do 1 nm. Cechą wyróżniającą PHI 710 jest polowe działo elektronowe umieszczone współosiowo z analizatorem CMA. Taka geometria zapewnia pełną analizę, w tym uzyskiwanie map składu chemicznego, również próbek o rozbudowanej powierzchni bez efektów przesłaniania. Dobra jakość optyki elektronowej, wysoka czułość i rozdzielczość analizatora CMA oraz izolacja termiczna i mechaniczna systemu pozwalają na rejestrację obrazów SE z rozdzielczością 6 nm oraz wykonywanie analiz AES z rozdzielczością 8 nm. Działo Ar⁺ pozwala na profilowanie składu chemicznego w głąb, a obrót próbki zmniejsza szorstkość otrzymywanych powierzchni. Działo to może pracować również przy niskich energiach zapewniając kontrolowane rozpylanie warstw ultracienkich oraz neutralizację ładowania się próbek podczas analiz AES. Intuicyjne oprogramowanie SmartSoft ułatwia konfigurację eksperymentu i nawigację oraz rejestruje dane pomiarowe, a program MultiPak przeprowadza ich obróbkę jakościową i ilościową. Spektrometr może zostać doposażony m. in. w działo FIB oraz detektory BSE, EDS i EBSD.

formularz kontaktowy

Inne metody powierzchniowo czułe: XPS, ToF-SIMS

Produkty powiązane: EDS, WDS