NanoTOF II firmy Physical Electronics to spektrometr masowy TOF-SIMS do analizy składu pierwiastkowego, chemicznego i molekularnego obszaru przypowierzchniowego. W technice TOF-SIMS zogniskowana wiązka jonów pierwotnych bombarduje próbkę powodując jej rozpylanie. Wszystkie emitowane jony wtórne są równolegle filtrowane przez analizator czasu przelotu i zliczane przez detektor. Uzyskane widmo masowe dostarcza informacji chemicznych. Próg detekcji jonów jest na poziomie nawet poniżej ppm, a głębokość pochodzenia informacji nie przekracza 5 nm. NanoTOF II posiada czuły, potrójnie ogniskujący analizator TRIFT umożliwiający analizę składu chemicznego powierzchni o rozwiniętej topografii i teksturze oraz obszarów o dużym pochyleniu (np. przekrojów poprzecznych FIB). Analizator ten wyróżnia się na rynku szerokim kątem akceptacji i zakresem energii jonów, wysoką głębią ostrości, niskim poziomem tła i dużą rozdzielczością. Dostępne są wszystkie rodzaje dział jonowych i ciekłometalicznych, które są typowo stosowane w SIMS. Ponadto, spektrometr można doposażyć w działo C₆₀⁺ i klastrowe Ar₂₅₀₀⁺ do profilowania i analizy 3D składu chemicznego warstw organicznych. Skuteczną kompensację ładunku na próbkach słaboprzewodzących zapewnia jednoczesne wykorzystanie działa elektronowego i argonowego. Spektrometr jest obsługiwany z poziomu intuicyjnego oprogramowania WinCadence, które umożliwia również obróbkę jakościową i ilościową uzyskanych danych pomiarowych.

formularz kontaktowy

Inne metody powierzchniowo czułe: XPS, AES