NMM-1 to platforma do pozycjonowania i wymiarowania obiektów w trzech osiach w zakresie 25x25x5 mm z dużą dokładnością na poziomie 0,1 nm. Urządzenie wykorzystuje trzy miniaturowe interferometry laserowe z płaskim zwierciadłem służące do pomiaru położenia wzdłuż każdej osi. Interferometry monitorują położenie ruchomego stolika zwierciadlanego, na którym leży pozycjonowany/mierzony obiekt. Dodatkowe dwa czujniki pozwalają na pomiar i korekcję odchyleń kątowych stolika. Światło z trzech stabilizowanych (…)

Miniaturowe interferometry firmy SIOS GmbH są przeznaczone do systemów metrologicznych, urządzeń i instrumentów użytkownika. Służą one do bezkontaktowych i precyzyjnych pomiarów odległości wzdłuż jednej lub wielu osi z rozdzielczością do 0,005 nm oraz kątów z rozdzielczością do 0,001 arcsec. Zasada pomiaru wykorzystuje zjawisko interferencji – wiązka laserowa odbita od poruszającego się obiektu interferuje z wiązką referencyjną, a powstały obraz interferencyjny jest przeliczany w optoelektronicznym układzie (…)

SL to wysokiej klasy stabilizowane, kompaktowe lasery He-Ne firmy SIOS GmbH. Dobowa zmienność częstotliwości na poziomie ±5∙10-9 oraz amplitudy poniżej ±0,2% pozwala na ich zastosowanie do precyzyjnych pomiarów interferometrycznych. Lasery te mają wyjątkowo krótki czas rozgrzewania do osiągnięcia stabilnej pracy poniżej 10 minut i niskie zużycie mocy poniżej 20 W. Generowana wiązka światła o długości 632,8 nm i mocy do ok. 3 mW jest (…)

Wibrometry laserowe firmy SIOS GmbH to urządzenia do precyzyjnego, bezkontaktowego pomiaru przesunięcia, przyspieszenia i prędkości ciał  drgających z częstotliwościami od 0 do 5 MHz. Pomiar wykorzytsuje interferencję światła – wiązka laserowa po odbiciu od drgającego obiektu jest przesunięta w fazie względem wiązki referencyjnej i interferuje z nią. Chwilowa różnica w fazie zależy od parametrów ruchu drgającego, które można wyznaczyć na podstawie analizy uzyskanych prążków (…)