EDS, WDS i EBSD

EDS

Edax Inc. jest znanym i doświadczonym producentem detektorów EDS do skaningowych i transmisyjnych mikroskopów elektronowych. Rentgenowska spektroskopia energodyspersyjna (EDS) jest rodzajem mikroanalizy rentgenowskiej i umożliwia analizę składu chemicznego powierzchni próbki. Promieniowanie rentgenowskie wzbudzane w próbce przez wiązkę elektronową pada na detektor krzemowy, generując w nim pary elektron-dziura. Ich liczba zależy od energii fotonu X, co pozwala na akwizycję widma ilości zliczeń w funkcji energii. W chwili obecnej EDAX oferuje zarówno detektory typu SDD (Silicon Drift Detector) ze zintegrowanym przedwzmacniaczem, jak i tradycyjne Si(Li), chłodzone ciekłym azotem. Detektory SDD tej firmy jako jedyne na rynku mają zdolność przetwarzania bardzo dużej liczby zliczeń przy zachowaniu wysokiej rozdzielczości energetycznej. Wraz z detektorami dostępne jest przyjazne oprogramowanie TEAM™ do rejestracji widm, optymalizacji parametrów akwizycji, analizy jakościowej i ilościowej, tworzenia profili i map rozkładu pierwiastków oraz identyfikacji faz próbki. Oprogramowanie automatycznie ogranicza i koryguje artefakty typowe dla pracy przy wysokiej liczbie zliczeń.

Detektory EDS do SEM:

seria Elements SDD
seria Octane SDD: powierzchnia aktywna do 100 mm²_, maksymalna liczba zliczeń na wejściu/wyjściu 1,6 Mcps/800 kcps, najlepsza rozdzielczość 121 eV z 90% stabilnością do 200 kcps. Dostępne są cztery modele zoptymalizowane do wysokiej wydajności i/lub rozdzielczości energetycznej: Pro (wysoka rozdzielczość energetyczna), Plus (rozdzielczość energetyczna i wydajność), Super (rozdzielczość przestrzenna i wydajność) oraz Ultra (wydajność).
Sapphire Si(Li): z cienkim okienkiem (SUT), o powierzchni aktywnej 10 lub 30 mm², rozdzielczości <132 eV oraz podwyższonej czułości i rozdzielczości w zakresie lekkich pierwiastków. Chłodzony ciekłym azotem z dewara o pojemności 10 litrów.

Detektory EDS do TEM:

seria Apollo XLT SDD: powierzchnia aktywna 30 mm², maksymalna liczba zliczeń na wejściu/wyjściu 3 Mcps/950 kcps, rozdzielczość 129 eV. Dostępne są dwie wersje: z cienkim okienkiem (SUTW) i jedyny na rynku bezokienkowy SDD (XLTW). Wersja bezokienkowa ma 5x podwyższoną czułość w zakresie lekkich pierwiastków.
Sapphire Si(Li): automatycznie wsuwany i wysuwany detektor z cienkim okienkiem (SUT) o powierzchni aktywnej 30 mm², wysokiej czułości i rozdzielczości w zakresie lekkich pierwiastków. Chłodzony ciekłym azotem z dewara o pojemności 5 litrów.

WDS

Edax Inc. to ceniony i doświadczony producent spektrometrów WDS z równoległą wiązką do skaningowych mikroskopów elektronowych. Rentgenowska spektroskopia z dyspersją długości fali (falowodyspersyjna, WDS) jest rodzajem mikroanalizy rentgenowskiej i umożliwia analizę składu chemicznego powierzchni próbki. Promieniowanie X wzbudzane w próbce przez wiązkę elektronową pada na kryształ analizujący (dyfraktor). Przy spełnieniu prawa Bragga dochodzi do dyfrakcji, a silna wiązka ugięta wiązka pada na licznik proporcjonalny. Znajomość kąta padania dla danego dyfraktora pozwala na określenie długości fali i energii promieniowania X, natomiast ciągła zmiana położenia dyfraktorów umożliwia akwizycję widma. WDS jest komplementarny z EDS, ale ma lepszy próg detekcji (< 0,1 %w.), a dużo wyższa rozdzielczość energetyczna (< 40 eV) umożliwia rozdzielenie większości przekrywających się linii rentgenowskich. W chwili obecnej Edax oferuje dwa modele – LEXS oraz TEXS posiadające po pięć dyfraktorów, zoptymalizowane odpowiednio do niskich oraz niskich i średnich energii. Obydwa modele są kompaktowe i mogą być zainstalowane w standardowych portach EDS. Przyjazne oprogramowanie TEAM™ ułatwia akwizycję oraz analizę jakościową i ilościową widm WDS, sugeruje dyfraktory, wspiera równoległą pracę z EDS oraz tworzy przejrzyste raporty. Funkcja Smart Focus dobiera optymalną wysokość próbki, dzięki czemu umożliwia automatyzację procesu pomiarowego.

Modele: LEXS (Low Energy X-ray Spectrometer, 80 eV – 2,4 keV, Be K – S K, zwierciadła HCO), TEXS (Transition Energy X-ray Spectrometer, 150 eV – 10 keV, B K – Cu K, optyka polikapilarna)

EBSD

Edax Inc. jest uznanym producentem systemów do dyfrakcji elektronów wstecznie rozproszonych (EBSD) montowanych w skaningowych mikroskopach elektronowych. W metodzie EBSD, wiązka elektronów pierwotnych pada na próbkę pod małym kątem, a elektrony wstecznie rozproszone ulegają dyfrakcji na sieci krystalicznej próbki, tworząc na ekranie pokrytym luminoforem układ linii Kikuchiego. Unikalny układ tych linii dla danej orientacji krystalograficznej pozwala na akwizycję map orientacji oraz analizę fazową składników próbki. Firma Edax oferuje dwie kamery EBSD, Hikari XP i DigiView, różniące się głównie rozdzielczością i szybkością akwizycji. Obydwa modele zapewniają wysoką czułość, umożliwiającą efektywną pracę nawet przy prądzie 100 pA i energii 5 keV, oraz wysoką rozdzielczość kątową (<0,1°), niezbędną do rozróżniania nieznacznych zmian w orientacji. Proste w użyciu oprogramowanie TEAM™ automatycznie konfiguruje kamerę, dobiera i optymalizuje parametry akwizycji oraz indeksuje linie Kikuchiego. Natomiast oprogramowanie OIM™ przeprowadza analizę mikrostruktury próbki i wizualizuje ją na wiele sposobów. Ponadto, dostępny jest detektor FSD (forward scatter detector), który jest kompatybilny z dużym pochyłem próbki stosowanym w EBSD i pozwala uzyskać m.in. bardzo dobry kontrast orientacji.

Modele: Hikari XP (1000 punktów/s, rozdzielczość 640×480 pikseli), DigiView (200 punktów/s, rozdzielczość 1392×1040 pikseli)

Produkty powiązane: dyfrakcyjna baza danych – do analizy fazowej

SYSTEMY EDS/EBSD, EDS/WDS i EDS/WDS/EBSD

Firma Edax oferuje trzy systemy, w których zintegrowano więcej niż jedną technikę analizy składu chemicznego i/lub fazowego: