Miniaturowe interferometry firmy SIOS GmbH są przeznaczone do systemów metrologicznych, urządzeń i instrumentów użytkownika. Służą one do bezkontaktowych i precyzyjnych pomiarów odległości wzdłuż jednej lub wielu osi z rozdzielczością do 0,005 nm oraz kątów z rozdzielczością do 0,001 arcsec. Zasada pomiaru wykorzystuje zjawisko interferencji – wiązka laserowa odbita od poruszającego się obiektu interferuje z wiązką referencyjną, a powstały obraz interferencyjny jest przeliczany w optoelektronicznym układzie przetwarzania na odległość. Pomiar kątów wymaga zastosowania co najmniej dwóch wiązek pomiarowych i polega na porównaniu różnicy zmierzonej odległości między nimi. Głowica pomiarowa interferometrów firmy SIOS jest sprzęgnięta światłowodowo z laserami He-Ne o stabilizowanej częstotliwości. Wpływy środowiska na pomiar są kompensowane poprzez korekcję długości fali. Urządzenia są obsługiwane z poziomu niezależnej klawiatury lub oprogramowania PC. Główne zastosowania to układy pomiarowe do stolików przesuwnych, mikroskopowych, pozycjonujących, obrabiarek, urządzeń do prób materiałowych oraz kalibracja instrumentów metrologicznych i bezkontaktowa profilometria powierzchni. Dostępnych jest wiele następujących typów, które różnią się głównie geometrią, liczbą wiązek pomiarowych oraz zakresem pomiarowym i zastosowaniem:

• SP5000NG – jednowiązkowe interferometry do pomiaru przemieszczenia, kalibracja przemieszczenia lub kontrola jednej osi w zamkniętej pętli,
• SP5000TR – wielowiązkowe interferometry do pomiaru przemieszczenia i kąta pochylenia, jednoczesny pomiar przemieszczenia i pochylenia w jednym kroku pomiarowym,
• SP15000 C3 i C5 – wielowiązkowe interferometry do pomiarów wieloosiowych, kalibracja wieloosiowych systemów pozycjonujących, maszyn współrzędnościowych i obrabiarek,
• SP5000DI – interferometry z różnicowym pomiarem przemieszczenia, wysokostabilne pomiary w długim czasie i pozycjonowanie na długim dystansie,
• LM20 i LM50 – sondy interferometryczne dotykowe z pomiarem różnicowym, precyzyjne pomiary grubości i kalibracja wzorców

Wszystkich zainteresowanym zapraszamy do kontaktu poprzez formularz kontaktowy.