SE 400adv

SE 400adv to elipsometr laserowy z długością fali 632,8 nm (He-Ne) firmy Sentech Instruments GmbH. To kompaktowe, łatwe w obsłudze urządzenie umożliwia precyzyjne wyznaczanie parametrów optycznych cienkich warstw (prostych i złożonych) i podłoży oraz grubości warstw. Ręczny goniometr pozwala na pomiary przy różnych kątach podania wiązki. Pozycjonowanie próbki odbywa się z wykorzystaniem układu ACT (auto collimating telescope) oraz mikroskopu, co przyspiesza procedurę pomiarową oraz ułatwia obsługę urządzenia. Duża szybkość pomiaru oraz wysoka stabilność źródła światła pozwalają na zastosowanie urządzenia do monitorowania narostu warstw. Zaawansowane oprogramowanie obsługuje proces pomiarowy oraz wykonuje obliczenia parametrów próbek z wykorzystaniem bogatej bazy z predefiniowanymi obiektami i stałymi materiałowymi.

formularz kontaktowy

Inne elipsometry: Sendira (spektralny), SENresearch (spektralny),SE 500adv (laserowy)

Produkty powiązane: reflektometry

FAQ

W jakich obszarach elipsometr laserowy znajduje swoje zastosowanie?
Głównymi obszarami wykorzystania elipsometrów laserowych są:
Jak długo trwa przeciętny pomiar i czy może zostać zautomatyzowany?

Dla pojedynczego pomiaru czas wyznaczenia widma to 120 ms …. 1.5 s (w zależności od wybranego modu pomiarowego).
Tak krótki czasu pomiaru predysponuje zastosowanie urządzenia w aplikacjach in-situ, m.in. do pomiaru wsp. GPC (ang. growth per cycle) w procesie ALD.
Łatwe w użyciu oprogramowanie umożliwia przeprowadzenie pomiaru po naciśnięciu jednego przycisku z wykorzystaniem zapisanych w pamięci definicji dla konkretnego rodzaju materiału, które mogą zostać opracowane przez producenta przed dostarczeniem urządzenia lub stworzone samodzielnie przez użytkownika
Jaki jest przybliżony koszt zakupu urządzenia i rozpiętość cenowa zależnie od opcji?

Cena modelu SE 400adv to koszt rzędu 220 tyś. PLN netto w wersji podstawowej.
W skład urządzenia w wersji podstawowej wchodzą:
manualny goniometr z krokiem co 5º, stolik o średnicy 150 mm z ręczną regulacją przechyłu i przemieszczenia w osi Z, układ optyczny kompensator, polaryzator, analizator, oprogramowanie SE400 advanced do obsługi urządzenia i analizy wyników, komputer PC z systemem operacyjnym Windows7.