Rentgenowskie spektrometry fotoelektronów (XPS/ESCA) firmy Physical Electronics (PHI) to kompletne systemy do analizy składu chemicznego powierzchni. W technice XPS promieniowanie X oświetla próbkę i powoduje emisję fotoelektronów, które przechodzą przez analizator hemisferyczny i padają na powielacz elektronów. Ze względu na wysoką rozdzielczość energetyczną na widmie obserwowane są przesunięcia chemiczne, które umożliwiają identyfikację wiązań chemicznych. Głębokość pochodzenia informacji nie przekracza 5 nm, co świadczy o wysokiej czułości powierzchniowej. Cechą wyróżniającą spektrometry PHI jest monochromatyczne źródło Al K_α generujące wiązkę o średnicy nawet poniżej 7,5 μm, która może być skanowana po powierzchni próbki. Rozwiązanie to pozwala na uzyskiwanie widm z mikroobszarów, rejestrację obrazów SE, a przede wszystkim tworzenie powierzchniowych map składu chemicznego. Analiza składu w głąb próbki, poniżej głębokości pochodzenia informacji, odbywa się poprzez sekwencyjne rozpylanie powierzchni jonami Ar⁺ lub C₆₀⁺ i Ar₂₅₀₀⁺, w czasie którego próbka może być obracana. Skuteczną kompensację ładunku na próbkach słaboprzewodzących zapewnia jednoczesne wykorzystanie działa elektronowego i jonowego. Intuicyjne oprogramowanie SmartSoft ułatwia konfigurację eksperymentu i rejestruje dane pomiarowe, a program MultiPak przeprowadza analizę ilościową. Spektrometry można doposażyć m. in. w lampę UV do spektroskopii UPS i skanujące działo elektronowe do wzbudzania elektronów Augera oraz integrować z systemami próżniowymi użytkownika. Dostępne są trzy modele, różniące się stopniem automatyzacji, przepustowością i dostępnością technik dodatkowych.

Modele: VersaProbe III (system integrujący wiele technik), Quantera II (zautomatyzowany system o wysokiej przepustowości), XTool (system XPS o wysokiej łatwości obsługi)

formularz kontaktowy

Inne techniki powierzchniowo czułe: AES, ToF-SIMS

XTool – prezentacja video: