SENresearch 4.0 – nowy elipsometr spektroskopowy
21-03-2016
Miło nam poinformować, że firma SENTECH Instruments GmbH wprowadziła nowy elipsometr spektroskopowy – SENresearch 4.0. Jest to urządzenie o największym zakresie widmowym i najwyższej rozdzielczości spektralnej. SENresearch 4.0 przeznaczony jest do wyznaczania właściwości optycznych i strukturalnych szerokiego zakresu materiałów. Mimo wysokiego poziomu zaawansowania, obsługa urządzenia jest prosta i intuicyjna.

SENresearch 4.0 to:
- Najszerszy zakres spektralny – jedyny elipsometr na rynku, który może być konfigurowany w zakresie widmowym od 190 do 3500 nm (UV-VIS-NIR). Wykorzystanie spektrofotometru FTIR umożliwia wyznaczanie grubości dla powłok nawet 200 µm;
- Oprogramowanie SpectraRay/4 – wszechstronne oprogramowanie, oparte na systemie WINDOWS 7, które oprócz akwizycji danych pomiarowych umożliwia modelowanie, symulacje i dopasowanie modeli do danych eksperymentalnych. Oprócz standardowych funkcji, SpectraRay/4 pozwala na zaawansowaną analizę pomiarów uzyskanych przy różnych kątach padania i łączonych pomiarów fotometrycznych. Oprogramowanie zawiera bazę ponad 200 materiałów oraz 30 różnych modeli dyspersyjnych, co umożliwia modelowanie odpowiedzi optycznej dla niemal każdego typu materiału. Akwizycja danych pomiarowych może odbywać się w sposób rutynowy lub interaktywny;
- Tryb skanowania SSA (Step Scan Analyser) – tryb nie wymagający ruchu elementów toru optycznego w czasie akwizycji, co znacznie zmniejsza czas pomiaru;
- Konstrukcja modułowa – ułatwiająca rozbudowę urządzenia o dodatkowe akcesoria i opcje. Pośród nich znaleźć można m.in. stoliki do mapowania, opcję 2C do wyznaczania wszystkich elementów macierzy Muellera, system automatycznego dostrajania wysokości i pochyłu, mikrospoty, celki cieczowe, stoliki grzewcze i chłodzące, uchwyt do pomiarów transmisyjnych;
- Precyzyjny goniometr – ręczny lub automatyczny goniometr o nowej konstrukcji pozwala na wykonywanie pomiarów w szerokim zakresie kątowym od 20 do 100 °. Enkodery optyczne zapewniają najwyższą precyzję i długotrwałą stabilność ustawień kątowych;
- Mikrokontroler – stabilny mikrokontroler firmy SENTECH sterujący całym osprzętem elipsometru;
- Szeroki zakres zastosowań – wyznaczanie grubości i parametrów optycznych materiałów objętościowych, pojedynczych warstw izotropowych i anizotropowych oraz układów wielowarstwowych. Wyznaczanie chropowatości powierzchni oraz interfaz, badań materiałów z gradientem właściwości, powłok porowatych, ultracienkich warstw, w tym warstw o grubości subnanometrycznych. SENresearch 4.0 został zaprojektowany m.in. do wymagających aplikacji z obszaru R&D, w tym pomiarów właściwości cienkich warstw na szkle, polimerów elektroluminescencyjnych i półprzewodnikowych, złożonych układów półprzewodnikowych i struktur mikroelektronicznych, w tym SOI oraz zawierających warstwy „high-k” i „low-k”.