Elipsometria – technika wyznaczania parametrów warstw
SENTECH Instruments
Dostępne są modele pracujące w zakresie jednej lub wielu długości fali, w tym w bardzo szerokim zakresie widmowym. Urządzenia te powstają w ścisłej współpracy z jednostkami naukowymi i firmami produkcyjnymi, spełniając najwyższe normy i wymagania. Wersje od samodzielnych urządzeń stand-alone do instalacji w klastrach i na liniach procesowych.
Elipsometry
-
SENresearch 4.0
Wszechstronny elipsometr spektroskopowy o zakresie DUV-VIS-NIR.
- konfigurowalny, szeroki zakres spektralny od 190 do 3500 nm
- brak ruchu optyki przy pomiarze
- najszerszy zakres automatyzacji
- zmotoryzowane platformy próbek
- analiza grubości i stałych optycznych
- od pojedynczych warstw (do 200 µm) po złożone układy wielowarstwowe
- liczne akcesoria m.in. celki cieczowe, stoliki grzewcze i chłodzące, reflektometr
- wariant nastołowy, in-line oraz in-situ
-
SENDIRA
Elipsometr spektroskopowy dla zakresu podczerwieni MIR połączony z FTIR.
- zakres: 1,7-25 µm, 400 – 6000 cm-1
- oświetlenie ze spektrometru FTIR
- poziomy stolik do podłoży do 150 mm
- dostęp do warstw zagrzebanych
- czułość na monowarstwy i orientację cząsteczek
- analiza grubości warstw, składu i koncentracji nośników
- niezależny spektrometr FTIR
- doskonałe narzędzie do działów R&D i kontroli jakości
-
SE 400adv
Elipsometr laserowy do szybkich pomiarów ultracienkich warstw.
- stabilny laser HeNe (632,8 nm)
- pomiary przy zmiennym kącie
- dokładność pomiaru grubości rzędu Å
- liczne akcesoria, m.in. celka cieczowa, stolik skanujący, mikrospot, kamera
- szybkość pomiaru: od 120 ms/punkt
- kontrola insitu procesów wzrostu, mapowanie jednorodności
- do PV, mikroelektroniki, nauk przyrodniczych, działów kontroli jakości
- dostępny model z reflektometrem
Skontaktuj się z nami!
Potrzebujesz ofertę lub więcej informacji? Nie wiesz czy potrzebujesz elipsometr laserowy czy spektralny? Chcesz wybrać lub porównać model lub dobrać zakres widmowy? Napisz lub zadzwoń do nas.
