Spektrometry do badania składu powierzchni
Physical Electronics
Nasze spektrometry mają szereg wyróżniających cech: XPS – skanującą mikro-wiązkę rentgenowską, AES – detektor umieszczony współosiowo z działem, ToF-SIMS – detekcję tandemową. Dodatkowo są konfigurowalne w szerokim zakresie, chociażby o klastrowe działa jonowe i techniki pomocnicze.
Spektrometry XPS, AES i ToF-SIMS
-
PHI GENESIS
W pełni zautomatyzowany wielofunkcyjny spektrometr XPS/HAXPES ze skanującym źródłem rentgenowskim
- skanujące monochromatyczne źródło Al Kα i Cr Kα
- wyjątkowe możliwości analizy XPS w mikroobszarach: wiązka ≤5 μm
- wiązka skanująca: obrazy SXI, mapy XPS, analizy i profile wielopunktowe
- SXI: łatwość lokalizacji cech do analiz
- profilowanie jonowe: działa klastrowe
- automatyczny załadunek próbki
- techniki: AES, UPS, LEIPS, RHEELS
- pomiary temperaturowe
-
PHI 710
Zaawansowany skaningowy spektrometr elektronów Augera (AES) do analizy składu powierzchni, cienkich warstw i interfaz.
- działo FEG umieszczone współosiowo z analizatorem CMA
- wysoka rozdzielczość map AES (≤8 nm) i obrazów SE (≤6 nm)
- wysoka czułość detekcji
- wyjątkowe osiągi na realnych (szorstkich) powierzchniach
- wydajne profilowanie jonowe od 100 eV z obrotem próbki
- zaprojektowany od podstaw do AES, a nie jako detektor do SEM
- inne techniki: FIB, BSE, EDS, EBSD
-
PHI nanoTOF 3
Zaawansowany spektrometr masowy czasu przelotu (ToF-SIMS) z detekcją tandemową MS/MS.
- rozdzielczość <50 nm i >16000 m/Δm
- szybki (>8 kHz) równoległy tor MS/MS do wydajnej separacji dużych mas
- widma masowe i mapy MS i MS/MS
- automatyczny transfer i pomiar
- dwuwiązkowy neutralizator ładunku
- duża głębia ostrości: wyjątkowe osiągi przy dużej topografii
- działa: Bi, Au, Ga, O, Cs
- profilowanie wgłębne i analizy 3D: działa Ar, FIB, C60, Ar2500
Skontaktuj się z nami!
Czy interesuje Cię skład pierwiastkowy, chemiczny czy molekularny? Czy wymagane rozdzielczości to nanometry czy mikrometry? Czy do profilowania jonowego potrzebujesz działa klastrowego? Które techniki pomocnicze uwzględnić? Napisz lub zadzwoń do nas.
